[发明专利]有机电致发光装置的制造方法有效
| 申请号： | 200880100949.1 | 申请日： | 2008-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN101766057A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木诚;森岛进一;伊藤范人 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;G09F9/00;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种有机电致发光装置的制造方法，该方法当形成对有机EL元件进行密封的包含无机物层的被覆膜时，能够抑制对有机EL元件造成的损伤。有机EL元件(20)是在至少一方为透明或半透明的一对电极之间夹持包含发光层的有机EL层(22)而构成，密封层(30)含有与有机EL元件(20)接触的至少1层的无机物膜，且对该有机EL元件(20)进行密封。当在基板(10)上形成有机EL元件(20)与密封层(30)时，利用对置靶式溅射法来形成密封层(30)中的与有机EL元件(20)接触的第一密封膜(31)，利用对置靶式溅射法以外的其他成膜方法来形成密封层(30)中的其他无机物膜。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种有机电致发光装置的制造方法，所述有机电致发光装置是由有机电致发光元件搭载于支撑基板上，并且所述有机电致发光元件被所述支撑基板与至少包含第一无机物膜及第二无机物膜的密封层所围绕从而与外界隔断而形成的，所述有机电致发光装置的制造方法包括：利用对置靶式溅射法，并以覆盖所述搭载于支撑基板上的有机电致发光元件的露出面的方式来形成所述第一无机物膜的工序；以及在形成所述第一无机物膜之后，利用与对置靶式溅射法不同的成膜方法来形成覆盖所述第一无机物膜的第二无机物膜的工序。
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