[发明专利]压印方法和使用压印方法的基板的处理方法有效
| 申请号： | 200880100985.8 | 申请日： | 2008-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN101765809A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 奥岛真吾;关淳一;小野治人;中辻七朗;寺崎敦则 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于将模具的图案压印到基板上的树脂材料上的压印方法包括：通过使模具与在基板上形成的树脂材料相接触而形成第一处理区域和在第一处理区域的周边的树脂材料的外侧区域的步骤，其中在所述第一处理区域中形成与模具的图案相对应的压印图案；在第一处理区域上形成用于保护第一处理区域的第一保护层的步骤；以及在第一处理区域中的树脂材料层上形成的压印图案受到第一保护层保护从而不被去除的同时去除外侧区域中的树脂材料层的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 方法 使用 处理 | ||
【主权项】：
一种用于将模具的图案压印到基板上的树脂材料上的压印方法，所述压印方法包括：通过使模具与形成在基板上的树脂材料相接触而外侧区域处理区域形成其中形成有与模具的图案相对应的压印图案的第一处理区域的步骤，树脂材料的一部分从第一处理区域挤出到第一处理区域周边的外侧区域中；在第一处理区域处理区域上形成用于保护第一处理区域处理区域的第一保护层的步骤；和在第一处理区域处理区域中的树脂材料层上形成的压印图案受第一保护层保护从而不被去除的同时，去除外侧区域中的树脂材料层的步骤。
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