[发明专利]光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导有效
| 申请号： | 200880107301.7 | 申请日： | 2008-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101802667A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 牧野龙也;山口正利;高桥敦之 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光波导的制造方法，其具有以下工序：在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序；本发明还提供光波导的制造方法，其具有以下工序：在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，使用碱性显影液进行显影的工序，以及使用含有2价以上金属离子的洗涤液或酸性水溶液进行洗涤的工序。本发明还提供一种透明性和可靠性优异的光波导的制造方法以及通过该制造方法所制造的光波导。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 制造 方法 以及 得到 | ||
【主权项】：
一种光波导的制造方法，其具有以下工序：在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序。
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