[发明专利]用于制造工件的方法和装置有效
| 申请号： | 200880113819.1 | 申请日： | 2008-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101835922A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | B·海因茨 | 申请（专利权）人： | OC欧瑞康巴尔斯公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 严志军;曹若 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | 对于由多个不同的加工工位(P11-P1n，P21-P2m)对工件进行真空处理，加工工位被分组为两组(I和II)。工件被同时向着第一组(I)的加工工位搬运或从第一组(I)的加工工位搬运，从而由第二组(II)的加工工位以可选则的单个的顺序处理工件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 工件 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于制造工件的方法，各工件由多个真空处理工艺处理，所述方法包括：提供用于各个所述真空工艺的真空加工工位；将所述真空加工工位至少分组成分别进行第一真空处理工艺的第一组真空加工工位和分别进行第二真空处理工艺的第二组第二真空加工工位；所述第一组真空工艺分别具有第一加工时间跨度；所述第二组真空处理工艺分别具有第二加工时间跨度；所述第一加工时间跨度比所述第二加工时间跨度更短；通过各个所述第一真空工艺而连续地处理各个工件，并从而将工件同时从所述第一加工工位中的一个输送到所述第一加工工位中的下一个；由所述第二真空工艺处理工件，从而将工件个别地输送至所选择的第二加工工位并从所选择的第二加工工位输送。
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