[发明专利]蒸镀源、有机EL元件的制造装置

摘要

改善蒸镀源的蒸发容器(9)的热控制性。本发明的蒸镀源(3)具有配置有机材料(21)的蒸发容器(9)，在蒸镀源(3)的外周卷绕有加热线(18)。有机材料(21)和蒸发容器(9)的侧壁接触的部分以与加热线(18)的下端相比成为下方的方式配置，在基板支持架(4)安装基板(20)。在启动电源(7)使加热线(18)发热而加热蒸发容器(9)时，有机材料(21)的蒸气从朝上的贯通孔(31)释放至真空槽(2)内部，附着于基板(20)，形成薄膜。因将加热线(18)配置至蒸发容器(9)的上端，所以能够使开口升温至蒸发温度以上，上述蒸发容器(9)由铜、铜/铍合金、Ti或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为0.3mm以上0.7mm以下的厚度，因此热容小，控制性优越。

主权项

一种蒸镀源，其构成为，具有：环状的加热装置；以及被插入上述加热装置，并配置有机材料的蒸发容器，当上述加热装置发热时，上述有机材料被加热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，其中，上述蒸发容器是由铜、铜/铍合金、Ti或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为0.3mm以上0.7mm以下的厚度。