[发明专利]粘合基板制造装置和粘合基板制造方法无效
| 申请号： | 200880115485.1 | 申请日： | 2008-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101855060A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 佐藤诚一;矢作充;南展史;武者和博;汤山纯平;村田真朗;宫田贵裕;中村久三 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | B29C65/00 | 分类号： | B29C65/00;B30B15/00;B65G49/06;G02F1/13;G02F1/1339;G09F9/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 齐葵;王诚华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，包括：支撑所述下基板的基底部；能够上下移动，且与所述基底部一起形成粘合处理室的室部件；竖立设置在所述基底部上的支撑棒；和能够沿所述支撑棒独立于所述室部件上下移动，且能够保持所述上基板的上加压部件，通过移动所述上加压部件，在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板。 | ||
| 搜索关键词： | 粘合 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，包括：支撑所述下基板的基底部；能够上下移动，且与所述基底部一起形成粘合处理室的室部件；竖立设置在所述基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒独立于所述室部件上下移动，且能够保持所述上基板的上加压部件，通过移动所述上加压部件，在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板。
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