[发明专利]用于对准电子电路板的对准装置及方法有效
| 申请号： | 200880115777.5 | 申请日： | 2008-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101855720A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚·贝茨尼 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利唯一股东有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 意大利圣亚*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 一种用于对准电子电路板(11)的对准装置包括：传送装置(13)，其能够沿传送轴将该电路板(11)至少从入口位置(14)传送至界定对准平面的对准位置(15)。该装置还包括活动构件(20)，其具有：第一移动构件(33)，其能够在第一方向上移动该活动构件(20)，以使该活动构件(20)关联于该电路板(11)，该第一方向的指向为第一轴，其基本上与该对准平面垂直；第二移动构件(28)，其能够围绕该第一轴旋转与该活动构件(20)相关联的电路板(11)；以及至少第三移动构件(34)，其能够在第二方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11)，该第二方向的指向为第二轴，其基本上横切于该第一轴，且基本上与该传送轴共平面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 电子 电路板 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对准电子电路板(11)的对准装置，其包括传送装置(13)，能够沿传送轴(Y)将该电路板(11)至少从入口位置(14)传送至对准位置(15)，其界定对准平面(P)，其特征在于该对准装置还包括活动构件(20)，该活动构件(20)包括：第一移动构件(33)，其能够在第一方向上移动该活动构件(20)，以使该活动构件(20)关联于该电路板(11)，该第一方向的指向为第一轴(Z)，其基本上与该对准平面(P)垂直；第二移动构件(28)，其能够围绕该第一轴(Z)旋转与该活动构件(20)相关联的电路板(11)；以及至少第三移动构件(34)，其能够在第二方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11)，该第二方向的指向为第二轴(X)，其基本上横切于该第一轴(Z)，且基本上与该传送轴(Y)共平面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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