[发明专利]检查用保持部件及检查用保持部件的制造方法有效
| 申请号： | 200880117774.5 | 申请日： | 2008-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN101874209A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 熊谷泰德;小松茂和 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供检查用保持部件及检查用保持部件的制造方法。该检查用保持部件，具有能够载置形成有元器件的芯片的、由硅或玻璃形成的基台。在基台的表面，形成有由抗蚀剂片组成的定位部件。在基台的背面形成有抗蚀剂膜，在抗蚀剂膜形成有吸引槽(交叉部，连结部)以及支柱部件。在基台表面的载置有芯片的区域形成有吸引孔，吸引孔贯通基台而与吸引槽连通。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 保持 部件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种检查用保持部件，其用于在检查元器件的电特性时对该元器件加以保持，所述检查用保持部件的特征在于：具有能够将形成有元器件的多个芯片载置在规定位置的、由硅或玻璃形成的基台，在所述基台的背面形成有抗蚀剂膜，在所述基台形成有贯通该基台的、吸引并保持载置于该基台的芯片的多个吸引孔，在所述抗蚀剂膜，形成有与所述吸引孔连通的吸引槽。
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