[发明专利]高浓度臭氧气体生成装置及高浓度臭氧气体生成方法

摘要

一种高浓度臭氧气体生成装置及高浓度臭氧气体生成方法，通过以如下的方式构成：将超过大气压的规定浓度的臭氧化气体向装入了作为在0℃以下的低温状态、高气压下进行吸附的吸附剂的氧化硅胶(6)的吸附解吸塔(4)内供给，而且将多个吸附解吸塔(4)中的三塔以上的吸附解吸塔(4-1、4-2、4-3)串联循环配置而构成主吸附解吸塔群(99)，将与该主吸附解吸塔群(99)并列配置的吸附解吸塔(4-4)作为辅助吸附解吸塔(999)，在主吸附解吸塔群(99)的三塔的任一个都没有进行解吸工序的期间，由辅助吸附解吸塔(999)解吸臭氧，能连续地大流量地输出高浓度臭氧。由此，通过高效率地生成高浓度臭氧化气体，能增加能输出的臭氧量且减少不能输出的排出气体量，使高浓度臭氧气体生成装置紧凑化、改善操作性、廉价。

主权项

一种高浓度臭氧气体生成装置，其特征在于，具备：臭氧发生器；内装吸附由上述臭氧发生器发生的臭氧化气体的臭氧的臭氧吸附剂的多个吸附解吸塔；使由上述臭氧发生器发生的上述臭氧化气体流入上述多个吸附解吸塔内的气体供给机构；从吸附了上述吸附解吸塔内的上述臭氧的上述臭氧吸附剂排出氧的真空泵；使排出上述吸附解吸塔内的氧而成为高浓度的上述臭氧化气体从该吸附解吸塔流出的输出机构；能对相对于上述吸附解吸塔流入或流出的气体的流路进行切换开闭操作的多个开闭阀，各上述吸附解吸塔进行如下的处理：使由上述臭氧发生器发生的超过大气压的规定浓度的臭氧化气体在0℃以下的低温状态下吸附于上述臭氧吸附剂的臭氧吸附处理；从吸附了臭氧的上述臭氧吸附剂排出氧的抽真空处理；使排出氧而成为高浓度的上述臭氧化气体由真空解吸或加温解吸向外部输出的解吸处理，上述多个吸附解吸塔中的三塔以上的吸附解吸塔，串联循环配置，而构成主吸附解吸塔群，其它的一塔以上的吸附解吸塔，与上述主吸附解吸塔群并列地配置构成辅助吸附解吸塔，在上述主吸附解吸塔群的上述三塔以上的吸附解吸塔中的任一个都没有进行解吸处理的期间，上述辅助吸附解吸塔进行解吸处理。