[发明专利]加工对象物切断方法有效
| 申请号： | 200880118283.2 | 申请日： | 2008-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN101878090A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 内山直己 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/40;H01L21/301;B23K101/40 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够高精度地切断加工对象物的加工对象物切断方法。通过使聚光点对准加工对象物(1)并照射激光，沿着从加工对象物(1)的外缘(E)向规定的距离的内侧并沿着外缘而被设定的改质区域形成线(15)，在加工对象物(1)形成改质区域，并沿着切断预定线(5)在加工对象物(1)形成切断用改质区域，从而以切断用改质区域为起点，沿着切断预定线(5)将加工对象物(1)切断。这样，沿着从加工对象物(1)的外缘(E)向规定的距离的内侧而被设定的改质区域形成线(15)，在加工对象物(1)形成改质区域，从而即使在将加工对象物(1)切断时对加工对象物(1)施加切断应力，利用所形成的改质区域或从改质区域延伸的龟裂，也能够抑制在加工对象物(1)的外缘部(25)产生的龟裂向内侧伸展。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 对象 切断 方法 | ||
【主权项】：
一种加工对象物切断方法，其特征在于，是用于沿着切断预定线将板状的加工对象物切断的加工对象物切断方法，所述加工对象物切断方法包含，形成改质区域的工序，通过使聚光点对准所述加工对象物并照射激光，从而沿着改质区域形成线，在所述加工对象物中形成改质区域，其中，所述改质区域形成线从所述加工对象物的外缘向规定的距离的内侧并沿着所述外缘而被设定；沿着所述切断预定线在所述加工对象物中形成切断起点区域的工序；以及以所述切断起点区域为起点并沿着所述切断预定线将所述加工对象物切断的工序。
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