[发明专利]使用负型感光性树脂层压体的抗蚀剂固化物的制造方法、负型感光性树脂层压体、以及负型感光性树脂层压体的使用方法有效
| 申请号： | 200880121352.5 | 申请日： | 2008-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101952777A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 井出阳一郎 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/032;G03F7/40;G03F7/42;H05K3/06;H05K3/18 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能带来显影后附着力和分辨率优异的抗蚀图案以及优异的抗蚀层形状的抗蚀剂固化物的制造方法、负型感光性树脂层压体、以及负型感光性树脂层压体的使用方法。本发明的抗蚀剂固化物的制造方法，其包括如下工序：层压体形成工序：形成至少由支撑体(A)、负型感光性树脂层(B)和基板(C)层压而成的负型感光性树脂层压体；曝光工序：使用投影光掩模像的光并隔着透镜，对该负型感光性树脂层(B)进行曝光；显影工序：通过显影除去该负型感光性树脂层(B)的未曝光部分，形成由该负型感光性树脂层(B)的固化部分组成的抗蚀剂固化物；该负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25％以上50％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 感光性 树脂 层压 抗蚀剂 固化 制造 方法 以及 使用方法 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂固化物的制造方法，其包括如下工序：层压体形成工序：形成至少由支撑体(A)、负型感光性树脂层(B)和基板(C)层压而成的负型感光性树脂层压体；曝光工序：使用投影光掩模像的光，并隔着透镜对前述负型感光性树脂层(B)进行曝光；显影工序：通过显影除去前述负型感光性树脂层(B)的未曝光部分，形成由前述负型感光性树脂层(B)的固化部分组成的抗蚀剂固化物；前述负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25％以上50％以下。
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