[发明专利]辊型纳米压印装置、辊型纳米压印装置用模具辊、辊型纳米压印装置用固定辊以及纳米压印片的制造方法有效

专利信息
申请号: 200880122606.5 申请日: 2008-11-19
公开(公告)号: CN101909859A 公开(公告)日: 2010-12-08
发明(设计)人: 山田信明;藤井晓义;林秀和;田口登喜生 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: B29C59/04 分类号: B29C59/04;B29C33/30;B29C33/38;B29C33/42;B81C5/00;G02B1/11;H01L21/027;B29L11/00
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种辊型纳米压印装置,其能够防止由模具辊转印纳米构造后的被转印膜的厚度不均匀,另外,能够容易地更换模具辊。本发明是通过转动模具辊在被转印膜的表面连续形成纳米尺寸的突起的辊型纳米压印装置,上述模具辊是在外周面形成有纳米尺寸的凹坑的圆筒体,上述纳米压印装置是如下辊型纳米压印装置:在被上述模具辊的内周面包围的区域,具有具备通过流体的注入能够膨胀的弹性膜的流体容器,在使上述弹性膜收缩的状态下进行模具辊的装卸,在使上述弹性膜膨胀的状态下从内侧保持模具辊。
搜索关键词: 纳米 压印 装置 模具 固定 以及 制造 方法
【主权项】:
一种辊型纳米压印装置,其通过转动模具辊而在被转印膜的表面连续形成纳米尺寸的突起,其特征在于:该模具辊是在外周面形成有纳米尺寸的凹坑的圆筒体,该纳米压印装置在被该模具辊的内周面包围的区域具有流体容器,上述流体容器具备能通过流体的注入而膨胀的弹性膜,在使该弹性膜收缩的状态下进行模具辊的装卸,在使该弹性膜膨胀的状态下从内侧保持模具辊。
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