[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷配线板的制造方法

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有：(A)具有由特定的苯乙烯及其衍生物得到的二价基团10～65质量份、由特定的(甲基)丙烯酸酯及其衍生物得到的二价基团5～55质量份、由(甲基)丙烯酸得到的二价基团15～50质量份的100质量份的粘合剂聚合物；(B)光聚合性化合物；及(C)光聚合引发剂。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其含有：(A)具有下述通式(I)表示的二价基团10～65质量份、下述通式(Ⅱ)表示的二价基团5～55质量份、下述通式(Ⅲ)表示的二价基团15～50质量份的100质量份的粘合剂聚合物；(B)光聚合性化合物；及(C)光聚合引发剂，式(I)、式(Ⅱ)及式(Ⅲ)中，R¹、R³及R⁵各自独立地表示氢原子或甲基，R²表示碳原子数1～3的烷基、碳原子数1～3的烷氧基、羟基、氨基或卤原子，R⁴表示可具有取代基的脂环式烃基、可具有取代基的芳香族烃基或可具有取代基的杂环基，m表示0～5的整数，m为2～5时，多个R²可以相互相同或不同。