[发明专利]具有微电铸探针的探针座无效
申请号: | 200910002588.3 | 申请日: | 2009-01-23 |
公开(公告)号: | CN101788575A | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 赵本善 | 申请(专利权)人: | 京元电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有微电铸探针的探针座,其包括一本体、及一底盖,底盖固设于本体中央部位的底凹槽,中央部位贯设有多个具有上颈部的上穿孔,底盖贯设有多个具有下颈部的下穿孔。其中,每根微电铸探针分别容设于对应的上、下穿孔内,且每一微电铸探针的弯折段可提供轴向弹性变形。由于本发明多根微电铸探针为微电铸技术制成,可提高芯片测试的质量,又可缩短微电铸探针的尺寸,适用于高频的芯片测试。 | ||
搜索关键词: | 具有 电铸 探针 | ||
【主权项】:
一种具有微电铸探针的探针座,其特征在于包括:多根微电铸探针,每一微电铸探针包括一上接触端、一弯折段、及一下接触端,该弯折段连接于该上接触端与该下接触端之间,该弯折段至少包括有一曲折结构,该曲折结构提供该上接触端与该下接触端彼此轴向趋近或轴向远离的弹性变形;以及一探针座,其包括一本体、及一底盖,该本体的中央部位凹设有一底凹槽,该底凹槽内固设有该底盖,该本体的该中央部位贯设有多个上穿孔,每一上穿孔上方设有一上颈部,该底盖贯设有多个下穿孔其分别对应至该多个上穿孔,每一下穿孔下方设有一下颈部,该多根微电铸探针分别容设于相对应的该多个上穿孔、及该多个下穿孔内,每一微电铸探针的该上接触端凸伸出该上颈部之外,每一微电铸探针的该下接触端凸伸出该下颈部之外。
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