[发明专利]曝光中使用的光掩膜

摘要

本发明涉及一种光掩膜，将光掩膜分为描绘有图案的中央部分和其周围的力传递部分而制成，然后，进行接合，从而能够降低材料费用及避免新设备投资。光掩膜(1)分为包括图案显示区域(5)的中央部分(3)和包围中央部分(3)的外周缘部的力传递部分(4)而制成。两者由粘附胶带(7)相互接合。力传递部分(4)具有用于与力赋予机构连结的连结部(孔)(8)，该力赋予机构用于使中央部分(3)弹性变形。

主权项

1. 一种光掩膜，其在曝光中使用，在所述曝光中，通过将力施加在薄膜状光掩膜的周缘使该光掩膜弹性变形，从而改变在该光掩膜上描绘出的、包括多个对位标记的图案的尺寸及/或形状，由此使所述光掩膜和基板对位之后，将所述图案转印在所述基板上，所述光掩膜的特征在于，具备：中央部分，其描绘有所述图案；力传递部分，其与该中央部分独立制成，以作为整体包围所述中央部分的外周缘部的方式配置，且与该中央部分的外周缘部接合，该力传递部分具有用于与力赋予机构连结的连结部，该力赋予机构用于使所述中央部分弹性变形。