[发明专利]薄膜形成方法、滤色器的制造方法有效
| 申请号： | 200910003725.5 | 申请日： | 2009-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN101498856A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 石塚博孝;片上悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种通过根据溶剂的蒸发的容易度控制喷出液状体的容纳部的大小，从而形成厚度均匀且高品质的薄膜的方法。在本发明的薄膜形成方法中，一边使多个喷嘴(160)和基板主体(41)相对地进行扫描，一边从喷嘴喷出在溶剂中溶解或分散了薄膜的形成材料的液状体(L)，对基板主体上设定的有效区域所包含的多个规定区域(78)分别配置液状体(L)来形成薄膜，包括：在各规定区域的周围设置隔壁(73)来形成多个容纳部(79)的工序；和从多个喷嘴向分别对应的多个容纳部(79)配置液状体(L)来形成薄膜的工序；在形成容纳部(79)的工序中，有效区域的边缘部(AR2)配置的容纳部(79)比有效区域的中央部(AR1)配置的容纳部(79)的俯视面积形成得小。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 方法 滤色器 制造 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜形成方法，一边使多个喷嘴和基板相对地进行扫描，一边从所述喷嘴喷出在溶剂中溶解或分散有薄膜的形成材料的液状体，对所述基板上设定的有效区域所包含的多个规定区域分别配置所述液状体来形成所述薄膜，该薄膜形成方法包括：在各个所述规定区域的周围设置隔壁，形成由所述隔壁和被所述隔壁包围的区域的底部所包围的多个容纳部的工序；和从所述多个喷嘴向分别对应的所述多个容纳部配置所述液状体，形成所述薄膜的工序；在形成所述容纳部的工序中，所述有效区域的边缘部配置的所述容纳部与所述有效区域的中央部配置的所述容纳部相比，所述容纳部的俯视面积形成得小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910003725.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图像形成装置
- 下一篇：用于全球导航卫星系统接收器的相关运算系统及其方法
