[发明专利]涂布装置有效
| 申请号： | 200910004741.6 | 申请日： | 2009-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN101574685A | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 西尾勤;甲田正纪;梶谷雅一 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/00;B05C11/08;B05C13/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马淑香 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种涂布装置，使基板与涂布器之间的间隙稳定，对每块基板逐一进行速度控制，可进行边缘涂装，且不会在基板的背面上产生损伤。本发明的涂布装置包括：在基板(P)上涂布涂布液的涂布器(3a、3b)；可旋转驱动地配置在涂布器(3a、3b)的下方、在外周上具有吸引孔(7)、并一边吸引基板(P)一边进行搬运的承压滚筒(5)；在承压滚筒(5)的上游侧和下游侧配置在比承压滚筒(5)低的位置上、一边吸引基板(P)一边进行搬运的搬运辊(6a、6b)；配置在上游侧的搬运辊(6a)的上游侧、将基板(P)朝承压滚筒5搬入的搬入输送机(15)；以及配置在下游侧的搬运辊(6b)的下游侧、将基板(P)从承压滚筒(5)搬出的搬出输送机(16)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，其特征在于，包括：涂布器，该涂布器在基板上涂布涂布液；承压滚筒，该承压滚筒可旋转驱动地配置在与所述涂布器相对的位置上，在外周上具有吸引孔，并一边吸引所述基板一边进行搬运；以及搬运辊，该搬运辊在所述承压滚筒的上游侧和下游侧搬运所述基板。
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