[发明专利]微影装置及微影装置的平衡晶片的方法

摘要

本发明涉及一种微影装置及微影装置的平衡晶片的方法，所述方法包括以下步骤：将一晶片放置于微影装置中，且晶片被一夹盘支撑，使用至少三个影像撷取组件，撷取晶片上对应影像撷取组件的对准记号，及依据影像撷取组件所撷取的晶片上的对准记号的清晰度，平衡晶片。所述微影装置，包括用以支撑一晶片的夹盘；及用以撷取该晶片上的对准记号的至少三个影像撷取组件，其以三角的方式分别设置于该夹盘的三个角落。由此，不需要将平衡球装设在WEC单元上接触光罩，如此当晶片或晶片上的层均匀度不佳，或当微粒掉落在晶片上时，并不会产生沾黏的现象，且由于摄影机的焦距是μm等级，本发明相对于现有技术而言，有较佳的精确度和敏感度。

主权项

1.一种微影装置的平衡晶片的方法，包括：将一晶片放置于该微影装置中，且该晶片被一夹盘支撑；使用至少三个影像撷取组件，撷取该晶片上对应所述影像撷取组件的对准记号；及依据所述影像撷取组件所撷取的该晶片上的对准记号的清晰度，平衡该晶片。