[发明专利]缺陷检测装置及方法无效
| 申请号： | 200910008194.9 | 申请日： | 2009-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101614680A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 安藤护俊 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿迪泰克工程 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/55;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够检测缺陷的高度方向位置的缺陷检测装置。玻璃板(99)以恒定速度(v)移动，通过工作台位置检测装置(4)来检测工作台(2)的位置(d)。从照明装置(1)经由掩模(10)使光以预定角度倾斜地入射到玻璃板(99)中，通过图像检测装置(3)检测由玻璃板(99)下表面反射的反射光。利用入射光和反射光两者来检测缺陷，测定其时间间隔，控制器(5)根据所述预定角度、预定速度(v)以及时间间隔来运算缺陷的高度方向位置。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，该缺陷检测装置具有：照明装置，其针对透过检查光的检查对象以预定角度倾斜地照射该检查光，该检查光具有入射到检查对象下表面的入射光、和由检查对象下表面反射的反射光；移动装置，其使该检查对象和所述照明装置在倾斜于所述检查光的方向上以预定速度相对移动；检测装置，其通过所述入射光和反射光来检测所述检查对象的缺陷；时间间隔检测装置，其检测基于所述入射光的缺陷检测与基于所述反射光的缺陷检测之间的时间间隔；以及运算装置，其根据所述预定角度、所述预定速度和所述时间间隔来运算所述缺陷的高度方向位置。
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