[发明专利]探针针迹转印部件及探针装置无效
| 申请号： | 200910009414.X | 申请日： | 2009-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101515030A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 山田浩史;片桐浩文;渡边哲治;川路武司 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针的针迹转印部件和探针装置，能够在极短时间内消除针迹而提高生产率，并且能在高温检查时减少对温度的影响。本发明的探针转印部件(17)是在使可移动的晶片卡盘(11)上的晶片(W)和多个探针(12A)电接触而检查晶片(W)的电气性能之前，进行多个探针(12A)的调准时，为了进行多个探针(12A)的调准而转印多个探针(12A)的针迹(17A)的针迹转印部件(17)，其被附设于晶片卡盘(11)，并且，其具有形状记忆聚合物，该形状记忆聚合物在玻璃化转变温度(TG)下，弹性率在弹性率高的玻璃状态和弹性率低的橡胶状态间可逆且快速地变化。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 针迹转印 部件 装置 | ||
【主权项】：
1.一种针迹转印部件，是在使可移动的载置台上的被检查体和多个探针电接触而检查所述被检查体的电气性能之前，进行所述多个探针的调准时，为了进行上述多个探针的调准而转印所述多个探针的针迹的针迹转印部件，其被附设于所述载置台，其特征在于：具有形状记忆聚合物，该形状记忆聚合物在玻璃化转变温度下，弹性率在弹性率高的玻璃状态和弹性率低的橡胶状态间可逆且快速地变化。
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