[发明专利]溅镀用晶圆夹表面处理工艺

摘要

本发明公开了一种溅镀用晶圆夹表面处理工艺，包括去除溅镀材料、喷砂、熔射处理、清洗、干燥等步骤。该处理工艺在将晶圆夹表面的溅镀材料去除后，又对晶圆夹表面进行了喷砂和熔射处理，使晶圆夹表面上不仅有一定的粗糙度，其上还附有一层铝材料，从而可以有效的增加晶圆夹与溅镀材料之间的附着力。因此可有效的延长晶圆夹的使用周期，从而可以降低溅镀用晶圆夹的清洗费用，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

1.一种溅镀用晶圆夹表面处理工艺，其特征在于其包括如下步骤：1)去除溅镀材料：首先将晶圆夹用药液进行浸泡，去除晶圆夹上的溅镀材料，然后将晶圆夹表面上的药液进行水洗，使晶圆夹表面上的药液去除，然后用气枪将晶圆夹表面吹干；2)一次喷砂：使用砂材轰击晶圆夹表面，使晶圆夹表面粗糙，然后用气枪吹净晶圆夹表面上的砂材；3)对晶圆夹进行熔射处理：用熔融态的铝材料溅射到晶圆夹的表面上，让铝材料在晶圆夹表面均匀沉积；4)二次喷砂：使用研磨材料轰击已经熔射铝材料的晶圆夹表面，使晶圆夹表面干净、整洁，然后用气枪吹净晶圆夹表面的研磨材质5)清洗：先用高压水进行清洗，然后用超声波清洗，再然后用超纯水润洗，最后用气枪将晶圆夹表面水分去除；6)干燥：将晶圆夹进行无尘干燥。