[发明专利]金属喷墨片的二元电沉积加工方法有效
| 申请号： | 200910033466.0 | 申请日： | 2009-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101590730A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 周涛;李真明;黎增祺 | 申请（专利权）人： | 昆山美微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;G03F7/16;G03F7/20;C25D1/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董建林;孙永生 |
| 地址： | 215300江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种金属喷墨片的二元电沉积加工方法，其特征在于采用光电加工和二元电沉积技术，包括：设计金属喷墨片的图形文件；采用不锈钢基板，将基板置于烘箱中烘烤；将光阻材料热压或印刷在基板上；按照设计好的金属喷墨片的图形文件，制作负片光罩菲林，进行高精度曝光；将曝光后的基板在显影机中清洗；将基板放入镍金电铸槽中进行二元电铸沉积加工；电铸沉积达到所需要的厚度后，将基板上的金属喷墨片取下，放入超声波清洗机中进行清洗；抽样检查。本发明可以使金属喷墨片的孔径达到1～3um的孔径要求，误差小，并满足喷墨打印机达到600DPI的分辨率精度，使喷墨片可以喷墨液体颗粒达到5um以下的直径水平，降低了使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 喷墨 二元 沉积 加工 方法 | ||
【主权项】：
1、一种金属喷墨片的二元电沉积加工方法，其特征在于采用光电加工和二元电沉积技术，具体包括以下步骤：(1)、设计金属喷墨片的图形文件；(2)、采用304不锈钢基板，经表面研磨处理、外观检查符合要求后，将基板置于烘箱中烘烤30分钟，烘烤温度为70～80度；(3)、将光阻材料热压或印刷在基板上；(4)、按照设计好的金属喷墨片的图形文件，制作2000DPI的负片光罩菲林，在平行光机上进行高精度曝光；(5)、将曝光后的基板在1％的显影机中进行清洗，使图形停留在基板上，并作图形尺寸及外观检查；(6)、将基板放入镍金电铸槽中的电铸溶液中进行二元电铸沉积加工，所述的二元电铸沉积加工是利用一定的电流沉积厚度，分别在光阻材料四周及上面沉积两次而成；(7)、电铸沉积达到所需要的厚度后，将基板上的金属喷墨片取下，放入超声波清洗机中进行清洗；(8)、抽样检查、包装。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山美微电子科技有限公司，未经昆山美微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910033466.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于图形绘制引擎的资源设置方法和装置
- 下一篇：心脑血管疾病三通道检测卡
