[发明专利]统计控制方法无效
| 申请号： | 200910045969.X | 申请日： | 2009-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101782762A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 杨斯元;简维廷 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种统计控制方法，包括：获得样本数据，所述样本数据具有自相关性；对所述样本数据进行线性回归处理；根据所述线性回归处理的结果，确定控制界；根据所确定的控制界，对所述样本数据进行监控。本发明能够对现有技术所不能处理的具有自相关性的样本数据进行处理，从而获得更加合理的控制界等统计控制参数，对生产过程的监控更加有效。 | ||
| 搜索关键词： | 统计 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种统计控制方法，其特征在于，包括：获得样本数据，所述样本数据具有自相关性；对所述样本数据进行线性回归处理；根据所述线性回归处理的结果，确定控制界；根据所确定的控制界，对所述样本数据进行监控。
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