[发明专利]钨酸锆薄膜的制备方法

摘要

钨酸锆薄膜的制备方法，它属于薄膜制备领域。本发明解决了现有钨酸锆薄膜制备方法存在的操作复杂，成本高的问题。本发明的方法如下：一、硝酸氧锆和溶剂混合得到A溶液；二、络合剂、溶剂和偏钨酸铵混合得到B溶液；三、将A和B混合，配制溶胶；四、通过旋涂制备湿膜，再将湿膜预烧；五、制备钨酸锆非晶薄膜；六、钨酸锆非晶薄膜晶化后即得钨酸锆薄膜。本发明的制备工艺简单，成本低，制备得到的薄膜表面平整致密、厚度均匀、晶粒大小均匀。

主权项

1、钨酸锆薄膜的制备方法，其特征在于钨酸锆薄膜的制备方法按照以下步骤进行：一、将0.82～1.92g硝酸氧锆加入到5～15mL溶剂中，在50～80℃条件下搅拌5～10min得到A溶液；其中溶剂为乙酸、丙醇、异丙醇、甲醇、乙二醇、醋酸或乙二醇甲醚；二、将0.95～3.25g络合剂、15～25mL溶剂和1.15～3.92g的偏钨酸铵混合均匀得到B溶液，其中络合剂为柠檬酸、乙二胺四乙酸或草酸，溶剂为乙酸、丙醇、异丙醇、甲醇、乙二醇、醋酸或乙二醇甲醚；三、将A溶液和B溶液混合均匀，在35～60℃条件下陈化1～3天，得到溶胶；四、将步骤三制备得到的溶胶滴加到基片上，每平方厘米的基片上滴加0.02～0.08mL的溶胶，以3000～4000r/min旋涂5～15s即可得到湿膜，再将湿膜置于300～500℃的平板炉上预烧1～3min；五、重复操作步骤四10～20次即可得到钨酸锆非晶薄膜；六、将钨酸锆非晶薄膜置于600℃～800℃条件下晶化10～40分钟，即制备得到钨酸锆薄膜。