[发明专利]一种对肖特基势垒高度进行镜像力补偿修正的方法有效
| 申请号： | 200910078557.6 | 申请日： | 2009-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101814100A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王鑫华;赵妙;刘新宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种对采用J-V标准法提取的肖特基势垒高度进行镜像力补偿修正的方法，包括：结合GaN高电子迁移率晶体管器件结构，推导无界面层或者界面层在20埃以内的可视为理想肖特基势垒高度因镜像力而导致的降低量 |
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| 搜索关键词： | 一种 肖特基 势垒高度 进行 镜像力 补偿 修正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对采用J-V标准法提取的肖特基势垒高度进行镜像力补偿修正的方法，其特征在于，该方法包括：步骤1：结合GaN高电子迁移率晶体管器件结构，推导无界面层或者界面层在20埃以内的可视为理想肖特基的势垒降低量![]()
该降低量![]()
因镜像力而导致；步骤2：构造关于热平衡态肖特基势垒高度![]()
的一元高次函数，并根据正向电压下镜像力影响势垒高度的规律，确定等效势垒降低量来近似代替某一电压范围对势垒降低的累计影响；步骤3：用MATLAB编程求解一元高次函数的零点，零点中满足大于标准J-V测量获得的势垒高度值![]()
的最近值即为修正的肖特基势垒高度值。
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