[发明专利]一种保持盘状物的装置及方法有效
| 申请号： | 200910079701.8 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101494189B | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 韩雷刚;张豹;张晓红;王锐廷 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种保持盘状物的装置及方法，该装置中的载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间；载体上表面周边设有与气源连接的吹气口，气体通过吹气口吹向盘状物的下表面的外部，该方法中的通过凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间，该空间用于机械手从盘状物下表面抓取盘状物，通过设置在载体上表面周边的吹气口向盘状物的下表面的外部不断吹气，阻止工艺液体流向盘状物的下表面。本发明结构简单，操作方便，且在盘状物固定后可以从下面抓取盘状物，减少了对盘状物上表面的污染，并有效的保证盘状物下表面不被工艺液体腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保持 盘状物 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种保持盘状物的装置，包括载体，其特征在于，所述载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，所述凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面上除所述凸出部件之外的部分之间产生空间，所述空间用于机械手从盘状物下表面抓取所述盘状物；所述载体边缘分布有若干个夹持元件，用于径向固定盘状物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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