[发明专利]一种工艺过程参数的可视化处理方法和装置有效
| 申请号： | 200910082770.4 | 申请日： | 2009-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN101539773A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 梁小祎 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺过程参数的可视化处理方法，包括：针对已建立通信连接的多个工艺模块，建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；所述工艺过程参数接收线程用于判断工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求；依据所述请求，激活当前工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。本发明能够在占用少量系统资源的情况下同时可视化处理多个工艺模块，还能够扩大工艺模块的显示区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 过程 参数 可视化 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种工艺过程参数的可视化处理方法，其特征在于，包括：针对已建立通信连接的多个工艺模块，建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；所述工艺过程参数接收线程用于判断工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求；依据所述请求，激活当前工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。
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