[发明专利]一种电机内置式抛光机转台有效
| 申请号： | 200910083589.5 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101554709A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 路新春;赵德文;王同庆;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光设备技术领域，特别是关于一种电机内置式抛光机转台。支撑轴承安装于轴承座和托盘之间，抛光盘安装于托盘上，支撑轴承为托盘提供一个高精度的旋转支撑；中间轴两端分别与托盘和悬伸轴联接，形成转轴组件；直驱电机转子套装于中间轴上，直驱电机定子通过支撑盘与轴承座固联，直驱电机通过转轴组件驱动抛光盘；圆光栅和读数头分别安装在悬伸轴外端和轴承盖上，用以完成转台的反馈控制；集液槽安装于抛光盘外沿下方，挡液围栏套装在集液槽上，用于液体的收集。本发明所述抛光机转台结构紧凑、精度高、稳定性好且拆装方便可广泛应用于精密抛光设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电机 内置 抛光机 转台 | ||
【主权项】：
1.一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，支撑轴承(2)的内圈安装在托盘(3)上，支撑轴承(2)的外圈安装于轴承座(1)内；抛光盘(6)安装于托盘(3)上，托盘(3)为抛光盘(6)提供一个高精度的旋转支撑；中间轴(7)与托盘(3)和悬伸轴(8)之间分别用螺栓联接，形成转轴组件(99)；直驱电机(9)安装在轴承座(1)与转轴组件(99)之间的空腔，其中，直驱电机转子(91)套装于中间轴(7)上，并用螺栓与悬伸轴(8)的端面联接，直驱电机定子(92)用螺栓安装于与轴承座(1)下端固联的支撑盘(10)上，直驱电机(9)通过转轴组件(99)驱动抛光盘(6)；小轴承(11)安装于悬伸轴(8)与支撑盘(10)之间，以保证悬伸轴(8)转动的平稳性；圆光栅(13)安装在悬伸轴(8)外端，读数头(14)安装在轴承盖(12)上，用以完成转台的速度和位置反馈控制；集液槽(14)安装与抛光盘(6)外沿下方，挡液围栏(15)套装在集液槽(14)上，用以实现抛光盘(6)上面液体的收集。
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