[发明专利]一种在线机台异常处理的方法和系统有效
| 申请号： | 200910088869.5 | 申请日： | 2009-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN101615565A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 崔琳 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在线机台异常处理的方法，所述方法包括：验证发生报警的模块是否为工艺模块，若是，则验证所述模块是串行模块还是并行模块；若否，则停止任务等待修复；若所述模块为串行模块，则暂停任务，等待用户操作后继续进行工艺处理；若所述模块为并行模块，则利用另一个并行模块进行工艺处理。本发明还提供了一种在线机台异常处理的系统，包括：模块验证单元、串行模块控制单元和并行模块控制单元。本发明对于在线机台可即时修复的异常，不需要终止当前的任务，避免了由于任务终止而多耗费的处理时间，提高了生产线的效率；同时方便用户的操作，使在线机台的控制合理化、自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 机台 异常 处理 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种在线机台异常处理的方法，其特征在于，包括：验证发生报警的模块是否为工艺模块，若是，则验证所述模块是串行模块还是并行模块；若否，则停止任务等待修复；若所述模块为串行模块，则暂停任务，等待用户操作后继续进行工艺处理；若所述模块为并行模块，则利用另一个并行模块进行工艺处理。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
