[发明专利]掩膜板检测装置及检测方法

摘要

本发明提供一种掩膜板检测装置及检测方法。该检测装置包括：检测板，由绝缘材料制成；电阻块，采用感光电阻材料制成，设置在检测板的表面上；控制模块，与电阻块相连，用于检测电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生报警信息。该检测方法包括：将绝缘材料的检测板与掩膜板平行且重叠布设；发射光线穿过掩膜板照射到检测板的电阻块上；检测电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生报警信息。本发明利用了感光电阻材料的电阻块，结合曝光光线照射，实现了对掩膜板图案变化的检测，具有较高的检测准确性，能够预防掩膜板图案变化对后续曝光刻蚀操作的影响。

主权项

一种掩膜板检测装置，其特征在于，包括：检测板，由绝缘材料制成；电阻块，采用感光电阻材料制成，设置在所述检测板的表面上，用于在检测板与掩膜板平行且重叠设置时，接受穿过所述掩膜板照射在检测板上的光线；控制模块，与所述电阻块相连，用于检测所述电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生报警信息。