[发明专利]旋涡式非接触硅片夹持装置

摘要

本发明公开了一种旋涡式非接触硅片夹持装置。包括吸盘主体和稳流网两部分。吸盘主体顶部切向布置进气口，底部有帽檐结构，其上开有分流孔及对准槽；稳流网为扁圆柱结构，其上布有多个稳流孔，周围设有环形壁，壁上开有分流孔，与吸盘主体结构上的分流孔一一对应。压缩气体经过进气口沿切向方向进入吸盘，在壁面束缚作用下形成旋涡流，旋涡流的中心区域由于离心力作用产生真空；同时，旋涡流向下运动，一部分在吸盘底部呈射线状排出，另一部分通过分流孔排出。硅片在旋涡中心的负压、空气溢出的正压和自身重力三者之间的动态平衡下实现非接触夹持。本发明在较小耗气量情况下，可以实现对硅片的稳定夹持，结构简单、工艺性好等优点。

主权项

1. 一种旋涡式非接触硅片夹持装置，其特征在于：包括吸盘主体(1)和稳流网(2)；其中：1)吸盘主体(1)上半部分吸盘壁(1A)外部为长方体，内部为圆柱腔体，圆柱腔体顶部同一圆周上开有两个均布的进气口(1B)，进气口(1B)与圆柱腔体相切；吸盘主体(1)下半部分为帽檐结构(1C)，帽檐结构(1C)孔内侧开有一个对准槽(1D)及固定环道(1F)，固定环道(1F)的同一圆周上开有多个均布的分流孔(1E)；2)稳流网(2)为扁圆柱结构，底面开有网状稳流孔；周围设有环形壁面(2A)，环形壁面(2A)同一圆周上开有多个均布的分流孔(2B)及一个对准块(2C)；吸盘主体(1)与稳流网(2)之间通过一个对准槽(1D)和一个对准块(2C)配合对准，固定环道(1F)与稳流网(2)的环形壁面(2A)之间为粘接固定，吸盘主体(1)的帽檐结构(1C)的底面和稳流网(2)的底面齐平。