[发明专利]纳米压印抗蚀剂及采用该纳米压印抗蚀剂的纳米压印方法有效
| 申请号： | 200910108044.5 | 申请日： | 2009-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN101923282A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 朱振东;李群庆;张立辉;陈墨 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清华园1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纳米压印抗蚀剂，该纳米压印抗蚀剂包括以下组分：高支化低聚物，全氟基聚乙醚，甲基丙烯酸甲酯，以及有机稀释剂。本发明还提供采用该纳米压印抗蚀剂的纳米压印方法。本发明提供的纳米压印抗蚀剂，具有热压温度低，有利于脱模的优点。本发明提供的纳米压印方法工艺简单，成本较低，获得的纳米图形的图保真度好，分辨率高。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 抗蚀剂 采用 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米压印抗蚀剂，其特征在于：该纳米压印抗蚀剂包括以下组分：高支化低聚物，全氟基聚乙醚，甲基丙烯酸甲酯以及有机稀释剂。
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