[发明专利]准分子灯有效
| 申请号： | 200910126162.9 | 申请日： | 2009-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101540264A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 藤泽繁树;森本幸裕;菱沼宣是 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00;H01J61/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在放电空间内发生准分子放电而放射真空紫外光的准分子灯，由熔融石英玻璃构成放电容器的一部分。该准分子灯(1)具有内侧管(4)与外侧管(3)配置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器(2)，在介设有形成该放电容器(2)的石英玻璃的状态下设置一对电极(5)、(6)，在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电容器(2)的放电空间(S)内发生准分子放电，其特征在于，内侧管(4)由熔融石英玻璃形成，外侧管(3)由合成石英玻璃形成。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 | ||
【主权项】：
1.一种准分子灯，具有内侧管与外侧管配置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的石英玻璃的状态下设置一对电极，在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的放电空间内发生准分子放电，其特征在于：上述内侧管由熔融石英玻璃形成，上述外侧管由合成石英玻璃形成。
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