[发明专利]光波导有效
| 申请号： | 200910126378.5 | 申请日： | 2007-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101498814A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 邵鸣达;俞国庆;徐琴琴;王文龙;王蔚 | 申请（专利权）人： | 晶方半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12;G02B6/13 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘诚午;李 丽 |
| 地址： | 215126江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆级光波导及其制造方法，利用半导体集成电路制造工艺，能够制造出接触面光滑、厚度均匀且端面为任意角度镜面的微米级光波导，同时大幅度降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 | ||
【主权项】：
1、一种光波导，包括基底和基底上的限制层，所述限制层中具有凹槽，凹槽两侧的端面为斜面，至少在所述斜面表面具有反射镜面层，在所述凹槽中包括芯层，在所述芯层的表面具有包层，所述包层仅位于芯层的上表面，所述芯层的下表面为反射镜面层。
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