[发明专利]氯硅烷的精炼装置及氯硅烷制造方法有效
| 申请号： | 200910126859.6 | 申请日： | 2009-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101544373A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 北川辉久;生川满敏;稻叶力 | 申请（专利权）人： | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种氯硅烷的精炼装置及氯硅烷制造方法，可有效地从在氯化反应炉中生成的含有氯硅烷的气体中除去氯化铝。在容器(1)中填充氯化钠并由加热机构(17)进行加热，使含有由金属硅和氯化氢反应生成的氯硅烷的气体通过该氯化钠的层(16)中，从而生成该气体中含有的氯化铝与氯化钠的复盐，从气体回收管(26)将分离了该复盐后的气体回收。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 精炼 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种氯硅烷的精炼装置，其特征在于，在填充了氯化钠的容器上设有：对该氯化钠的层进行加热的加热机构、供给含有由金属硅和氯化氢反应生成的氯硅烷的气体的气体供给管、将通过了上述氯化钠的层后的气体排出的气体回收管。
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