[发明专利]多向气体分配系统与多向气体分配淋浴头装置有效
申请号: | 200910127928.5 | 申请日: | 2009-03-27 |
公开(公告)号: | CN101634013A | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
发明(设计)人: | 余振华;黄见翎 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 冯志云;郑特强 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种多向气体分配系统与多向气体分配淋浴头装置,该多向气体分配系统包括一腔体与一淋浴头。腔体用以容纳多路气体且排出多路气体。淋浴头设置于腔体之中。淋浴头包括具有至少一多通道气体传递管件以及至少两分支管路,至少两分支管路设置于所述至少一多通道气体传递管件之中并用以同时将未混合的多路气体排放进入腔体。 | ||
搜索关键词: | 多向 气体 分配 系统 淋浴 装置 | ||
【主权项】:
1.一种多向气体分配系统,包括:一腔体,用以容纳多路气体且排出所述气体;一淋浴头,设置于该腔体之中,该淋浴头包括至少一多通道气体传递管件;以及至少两分支管路,设置于所述至少一多通道气体传递管件之中,所述至少两分支管路用以同时将未混合的所述气体排放进入该腔体。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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