[发明专利]半导体封装结构及其制造方法有效
申请号: | 200910128505.5 | 申请日: | 2009-03-06 |
公开(公告)号: | CN101826491A | 公开(公告)日: | 2010-09-08 |
发明(设计)人: | 黄敏龙;郑智元 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/36 | 分类号: | H01L23/36;H01L23/31;H01L21/48;H01L21/56;H01L21/60;H01L21/50;H01L21/78 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体封装结构的制造方法,包括下列步骤:提供具有一黏贴层的一载具;配置数个芯片于黏贴层上;置放一封胶材料于黏贴层上,使得封胶材料包覆数个芯片;置放一散热片于数个芯片上;固化封胶材料为一封胶层,以使封胶层固定散热片于芯片上;移除载具及黏贴层,以暴露出数个芯片的主动表面;形成一重新布线层于数个芯片的主动表面;配置数个焊球于重新布线层上;以及依据数个芯片的位置,切割重新布线层、封胶层及散热片,以形成数个封装件。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体封装结构,包括:一芯片,具有一主动表面;一散热片(heatspeader);一封胶层(molding compound),包覆该芯片且固定该散热片于该芯片上;一重新布线层(redistribution layer,RDL),设置于该芯片的该主动表面;以及数个焊球,设置于该重新布线层上。
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