[发明专利]降低显影液成本的装置及其方法无效
| 申请号： | 200910129217.1 | 申请日： | 2009-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101840165A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 施江林;黄沛霖;曾盈崇 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 陈怡;颜涛 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种降低显影液成本的装置及其方法，以降低因使用显影液所产生的成本，其提供一装置，其主要是藉由物理性的扰动该显影液或超音波器震动，而使显影液浓度一致并降低显影液的消耗。该装置及其方法，降低了因使用显影液所产生的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 显影液 成本 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种用于使显影液浓度均匀的方法，其特征在于，该方法包含下列步骤：提供承载装置；提供显影液；将该显影液滴至该承载装置上的晶圆上，并旋转该承载装置；停止对该承载装置旋转；物理性地扰动该显影液；及停止扰动并将该晶圆上的显影液干燥。
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