[发明专利]排气集管和真空排气处理装置无效
| 申请号： | 200910130702.0 | 申请日： | 2009-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101510490A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 惠上寿雄 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及排气集管和真空排气处理装置。一种排气集管(1)，其具有：可接受尾管(4)的尾管插入室(5)，在上述尾管插入室(5)的内侧全周连续露出并利用内部压力的上升封堵上述尾管插入室(5)和上述尾管(4)之间的间隙的膨胀封闭环(7)，与上述膨胀密封环(7)连通并包围上述尾管插入室(5)的封套(8)，用于排出上述尾管插入室(5)内部的气体的真空排气流路(11)，在上述封套(8)中供给冷却水的冷却水供给流路(12)，以及从上述封套(8)排出上述冷却水的冷却水排出流路(13)。本发明可提供需要连接的柔性管的数量少的排气集管。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 真空 处理 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种排气集管，其特征在于，包括：能够接受尾管的尾管插入室，在上述尾管插入室内侧的全周上露出、利用内部压力的上升而将上述尾管插入室和上述尾管之间的间隙封堵的膨胀封闭环，与上述膨胀密封环连通、包围上述尾管插入室的封套，用于排出上述尾管插入室内部的气体的真空排气流路，向上述封套供给冷却水的冷却水供给流路，以及从上述封套排出上述冷却水的冷却水排出流路。
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