[发明专利]振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械

摘要

本发明涉及振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械，能够大范围且高速度地进行振荡部件的转动惯量或者重心位置的调节。其中，该振荡部件绕振荡轴线(17)振荡，并且该振荡部件包含可动元件(11)和质量调节部件(19)，在可动元件(11)和质量调节部件(19)之间限定有空腔(30)，从而，通过对质量调节部件(19)进行激光束照射，该质量调节部件的与空腔相邻近的一部分被部分地去除，该要被去除的部分包含所述质量调节部件中未被激光束照射的部分。

主权项

1.一种制造振荡器装置的方法，所述振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，所述振荡部件由所述弹性支撑部弹性地支撑，以便可绕振荡轴线进行振荡，所述方法包括：由可动元件形成所述振荡部件，所述可动元件具有用于调节所述振荡部件质量的突起，所述突起沿与所述振荡轴线平行的方向从所述可动元件延伸，并且，所述突起成对地形成，每对突起设置于相对所述振荡轴线对称的位置，每个突起的沿与所述振荡轴线垂直的平面的截面积在所述振荡轴线方向上是恒定的，以及将激光束投射到所述突起的切割位置，以部分地去除所述可动元件，所述去除包含所述突起中未被激光束照射的、范围涉及从所述切割位置到该突起的末端部的部分，其中，所述突起被切割，致使所述突起的除去长度的总量等于预定长度，以便由此调节所述振荡部件的转动惯量。