[发明专利]四龙门式检测装置

摘要

一种四龙门式检测装置，包括基座、第一测定机构和第二测定机构，其中第一测定机构包括第一移动臂和第二移动臂，第一移动臂、第二移动臂的一侧或两侧分别与第一驱动单元相连接，并且第一驱动单元接设于基座；第二测定机构，包括第三移动臂和第四移动臂，其中第三移动臂、第四移动臂的一侧或两侧分别与第二驱动单元相连接，并且第二驱动单元接设于基座；在上述第一移动臂、第二移动臂、第三移动臂以及第四移动臂的相对内侧各接设至少一个可移动的检测单元。

主权项

一种四龙门式检测装置，包括：一基座；以及一第一测定机构，其置设于所述基座的一半侧，包括一第一移动臂和一第二移动臂，所述第一移动臂、所述第二移动臂分别与一第一驱动单元连接，并且所述第一驱动单元与所述基座相连接；以及一第二测定机构，其置设于所述基座的另一半侧，包括一第三移动臂和一第四移动臂，所述第三移动臂、所述第四移动臂分别与一第二驱动单元连接，并且所述第二驱动单元与该基座相连接；其中所述第一移动臂、所述第二移动臂、所述第三移动臂以及所述第四移动臂的相对内侧各接设至少一个可移动的检测单元，经由所述第一驱动单元、第二驱动单元以使所述第一移动臂、所述第二移动臂、所述第三移动臂以及所述第四移动臂及其检测单元移动至一基板的一缺陷处，以使所述检测单元撷取所述缺陷的影像。