[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法无效
| 申请号： | 200910136929.6 | 申请日： | 2009-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101656270A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 郑现中;金民圭;郑棕翰;牟然坤 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L29/12;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭鸿禧;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜晶体管及其制造方法。一种薄膜晶体管(TFT)包括栅极、有源层、源极和漏极。有源层包括与源极和漏极接触的接触区域，接触区域比有源层的剩余区域薄。接触区域减小有源层与源极和漏极之间的接触电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：栅极；有源层，与栅极叠置并具有接触区域和比所述接触区域厚的剩余区域；源极和漏极，与接触区域接触。
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