[发明专利]晶片无效
申请号: | 200910139106.9 | 申请日: | 2006-04-20 |
公开(公告)号: | CN101552266A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 岩本茂 | 申请(专利权)人: | 富士通微电子株式会社 |
主分类号: | H01L25/00 | 分类号: | H01L25/00;H01L21/68;G03F7/20 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张浴月;刘文意 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种晶片,在该晶片上形成有多个芯片,该晶片包括:第一芯片;以及第二芯片,能够通过图像识别将该第二芯片与该第一芯片区分开,并且该第二芯片用作该第一芯片的定位基准。通过图像识别,本发明的晶片能够自动准确地指定基准芯片。因而,可精确地执行晶片的定位,从而准确地掌握每个芯片的位置。因此,可防止在检查步骤中标记无缺陷的芯片,或者防止在装配步骤中挑选无缺陷芯片期间意外选取有缺陷的芯片。从而,能够有效地形成具有更高可靠性的产品芯片,并能够有效地形成使用所述芯片的各种半导体器件。 | ||
搜索关键词: | 晶片 | ||
【主权项】:
1.一种晶片,在该晶片上形成有多个芯片,该晶片包括:第一芯片;以及第二芯片,能够通过图像识别将该第二芯片与该第一芯片区分开,并且该第二芯片用作该第一芯片的定位基准。
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