[发明专利]导电性部件图案的制造方法无效
| 申请号： | 200910140871.2 | 申请日： | 2009-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101583245A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 糠信恒树;青木直文 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/10 | 分类号： | H05K3/10;G03F7/40 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王 健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开了能容易且简单地制造导电性部件图案例如纳米尺寸精细配线或电极的方法。具体地说，该公开的导电性部件图案的制造方法包括以下步骤：通过使用光敏树脂从而在基板上形成离子交换性树脂图案；使该树脂图案吸收含有金属组分的溶液；和烘烤已经吸收了该含有金属组分的溶液的该树脂图案，其中烘烤步骤之前该树脂图案的宽度和“宽度/高度”比分别是小于或等于1μm和小于或等于5。 | ||
| 搜索关键词： | 导电性 部件 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.导电性部件图案的制造方法，包括：通过使用光敏树脂从而在基板上形成离子交换性树脂图案；使该树脂图案吸收含有金属组分的溶液；和烘烤已经吸收了该含有金属组分的溶液的该树脂图案，其中烘烤步骤之前该树脂图案的宽度和“宽度/高度”比分别为小于或等于1μm和小于或等于5。
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