[发明专利]光波导基板及其制备方法、模、以及光电混载模块无效
| 申请号： | 200910142357.2 | 申请日： | 2009-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101598837A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 牛渡刚真;平野光树;田尻浩三;牧野朋未 | 申请（专利权）人： | 日立电线株式会社;株式会社日本触媒 |
| 主分类号： | G02B6/30 | 分类号： | G02B6/30;G02B6/42 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能够以很好的尺寸精度在任意选择的基部基板上形成光纤固定槽和光波导、且不需要进行光纤的中心和光波导的中心层的精密的位置配合的带有光纤固定槽的光波导基板等。带有光纤固定槽的光波导基板在基部基板上形成有光波导，该光波导包括具有光纤固定槽和中心槽、且在光纤固定槽和中心槽之间设置有堰的下部覆盖层。带有光纤固定槽的光波导基板是通过使用由凹型制作的凸型，在基部基板上形成下部覆盖层后，依次形成中心层以及上部覆盖层而制备的。用于该制备方法的模具有对应于光纤固定槽和中心槽的各个凹部或各个凸部、以及对应于堰的凸部或凹部。光电混载模块具有带有光纤固定槽的光波导基板。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 及其 制备 方法 以及 光电 模块 | ||
【主权项】：
1、一种带有光纤固定槽的光波导基板，该带有光纤固定槽的光波导基板具有形成于基部基板上的下部覆盖层、形成于该下部覆盖层上的中心层、以包埋该中心层的方式形成于该下部覆盖层和该中心层上的上部覆盖层、以及与该中心层串联地形成于该下部覆盖层上的光纤固定槽，其特征在于，该下部覆盖层具有该光纤固定槽和中心槽，且在该光纤固定槽和该中心槽之间设置有堰。
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