[发明专利]感光液涂敷装置有效
| 申请号： | 200910142929.7 | 申请日： | 2009-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101676802A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李焌硕;姜智银 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄 威;张 彬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于水平安装具有狭缝喷头的喷头支承件的感光液涂敷装置，该装置可在不导致机器疲劳的情况下简便地进行精密调整。本发明的感光液涂敷装置包括：工作台；多个柱体，其结合在所述工作台上，所述多个柱体之间相互隔开预定距离；多个垂直驱动单元，其分别结合到所述柱体；喷头支承件，其在所述多个垂直驱动单元的驱动作用下上下移动；狭缝喷头，其结合到所述喷头支承件，将药液喷到基板上；位移调整单元，其结合到所述多个垂直驱动单元，用于吸收所述喷头支承件的左右高度差所产生的位移量。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 液涂敷 装置 | ||
【主权项】：
1、一种感光液涂敷装置，其特征在于，包括：工作台；多个柱体，其结合在所述工作台上，所述多个柱体之间相互隔开预定距离；多个垂直驱动单元，其分别结合到所述多个柱体；喷头支承件，其在所述多个垂直驱动单元的驱动作用下上下移动；狭缝喷头，其结合到所述喷头支承件，将药液喷到基板上；位移调整单元，其结合到所述多个垂直驱动单元，用于调整所述喷头支承件的左右高度差所产生的位移量。
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