[发明专利]研浆组成物及使用该研浆组成物的金属镶嵌结构制造方法有效
| 申请号： | 200910148422.2 | 申请日： | 2009-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101928521A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 张松源;蔡文财;陆明辉;申博元 | 申请（专利权）人： | 盟智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研浆组成物，其组成总量为100％，且包括研磨粒、酸碱调整剂、氧化剂及水。研磨粒的含量为10％～40％(重量)，且研磨粒的粒径多分布指数为大于1.8。酸碱调整剂的含量为0.01％～10％(重量)。氧化剂的含量为0.01％～10％(重量)。其中，组成所述研浆组成物的剩余部份为水。 | ||
| 搜索关键词： | 组成 使用 金属 镶嵌 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种研浆组成物，其特征在于，其组成总量为100％，包括：研磨粒，含量为10％～40％(重量)且所述研磨粒的粒径多分布指数大于1.8；酸碱调整剂，含量为0.01％～10％(重量)；氧化剂，含量为0.01％～10％(重量)；以及水，组成所述研浆组成物的剩余部份为所述水。
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