[发明专利]衬底处理设备以及用于为该设备转移衬底的方法

摘要

本发明涉及一种衬底处理设备，其包括主装载单元、缓冲装载单元、以及分配单元。主装载单元布置在处理模块的前侧处以用于接收每个都容纳衬底的多个容器。缓冲装载单元接收多个容器，并且分配单元在主装载单元与缓冲装载单元之间转移容器。衬底处理设备包括缓冲装载单元以及主装载单元，并且分配单元用于在主装载单元与缓冲装载单元之间转移容器。因此，衬底可以用较少的时间转移到衬底处理设备，并从而可以提高生产力。

主权项

1、一种衬底处理设备，其特征在于，包括：处理模块，用于处理衬底；主装载单元，布置在所述处理模块的前侧处以用于接收多个容器，每个容器中容纳有多个衬底，所述主装载单元构造成便于在所述主装载单元上布置的所述容器与所述处理模块之间转移衬底；缓冲装载单元，构造成用于接收多个容器；以及分配单元，布置在所述主装载单元上方以用于在所述主装载单元与所述缓冲装载单元之间转移容器。