[发明专利]非原位组件恢复

摘要

本文中揭示用于非原位组件恢复的装置、方法及系统。可通过在恢复系统中而不是在处理系统本身中对所述处理系统的组件进行解吸附或除气来执行所述非原位恢复。所述恢复系统可包含坞站及/或加热式真空室。可使用所述加热式真空室来对将被安置于所述处理系统内部的组件进行解吸附或除气，同时可使用所述坞站来对将被连接到所述处理系统的组件进行解吸附或除气。可由所述恢复系统将所述处理系统组件置于压力下以对污染物进行解吸附或除气并去除虚漏。所述恢复系统压力可包含真空粗抽泵、涡轮分子泵及/或低温泵以施加对所述组件进行解吸附或除气所必需的压力。

主权项

1、一种非原位恢复系统，其包括：组件室，其用以接纳处理系统的组件，所述组件室具有用以接纳吹扫气体源的第一吹扫气体入口；坞站，其用以接纳到所述处理系统的所述组件的连接，所述坞站具有用以接纳所述吹扫气体源的第二吹扫气体入口；及涡轮分子泵，其耦合到所述组件室及所述坞站以向所述组件室及所述坞站施加第一真空压力。