[发明专利]压力传感器

摘要

本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器(10)具有：外壳(12)；受压单元(膜片24)，其封闭所述外壳的开口部(22)，将外部压力传递到所述外壳(12)内部；以及感压元件(40)，其具有感压部(振动臂)(40c)和与所述感压部的两端连接的一对基部(第1基部40a、第2基部40b)，将力的检测方向作为检测轴，连接所述一对基部的直线和所述受压单元的位移方向平行配置，并且，将所述基部的一方(第1基部40a)连接到由于所述压力而位移的所述受压单元的中央区域(24a)，将所述基部的另一方(第2基部40b)经由连接部件(42)连接到所述受压单元的固定侧的周缘区域(24c)。

主权项

1.一种压力传感器，该压力传感器具有：外壳；受压单元，其封闭所述外壳的开口部，具有挠性部和所述挠性部外侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面为受压面；以及感压元件，其具有感压部和分别与所述感压部的两端连接的第1基部和第2基部，并且，所述第1基部和所述第2基部的排列方向与所述受压单元的位移方向平行，该压力传感器的特征在于，将所述第1基部连接到作为所述受压面的内侧的所述受压单元的中央区域，将所述第2基部经由连接单元连接到所述内侧的所述周缘区域，或者连接到与所述第1基部对置的所述外壳的内壁。